0371-5536 5392 0371-5519 9322
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
單靶等離子濺射儀（基礎(chǔ)型）采用二極濺射方式，廣泛用于場發(fā)射掃描電鏡或透射電鏡樣品制備或高質(zhì)量鍍膜試驗。該單靶等離子濺射儀（基礎(chǔ)型）是基于PLC的強大控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，可手動、半自動控制、全自動控制。
詳情介紹：
○ 產(chǎn)品介紹：
TN-PSP180G-1TA 本型號小型等離子濺射儀，采用二級濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產(chǎn)生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，體積小巧造型美觀，是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。
○ 主要功能：
1、精細、超精細離子濺射導(dǎo)電膜制備；專業(yè)級金屬膜層試驗。
2、樣品等離子刻蝕清洗
○ 主要參數(shù)：
| 樣品臺 | 尺寸 | 100mm |
|
|
到靶面距離 | 20-35mm 可調(diào) |
| 等離子濺射靶 | 數(shù)量 | 2英寸*1 |
|
|
冷卻方式 | 自然冷卻 |
| 真空腔體 | 腔體尺寸 | φ180*210mm |
|
|
觀察窗口 | 全向可視 |
|
|
腔體材料 | 高純石英 |
|
|
開啟方式 | 頂蓋拆卸式 |
|
|
上下蓋材料 | 304不銹鋼 |
|
|
抽氣接口 | KF16 |
|
|
進氣接口 | 1/4英寸卡套接頭 |
| 電源配置 | 數(shù)量 | 直流電源*1 |
|
|
輸出功率 | *大150W |
|
|
濺射電壓 | 1200V |
|
|
*大濺射電流 | 50mA |
| 真空系統(tǒng) | 真空泵類型 | 雙極旋片真空泵 |
|
|
抽氣接口 | KF16 |
|
|
抽氣速率 | 1.1L/s(4m3/h) |
|
|
極限真空度 | ≥0.1Pa |
|
|
真空測量 | 電阻真空規(guī) |
| 其他 | 供電電源 | AC220V 50Hz |
|
|
整機功率 | 1.5kW |
|
|
整機尺寸 | 500mm*320*470mm |
|
|
整機重量 | 30kg |
○ 免責(zé)聲明
本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等），僅供參考。泰諾公司產(chǎn)品在不斷更新，網(wǎng)站內(nèi)容可能由于更新不及時，或許導(dǎo)致所述內(nèi)容與實際情況存在一定的差異，請與本公司銷售人員聯(lián)系確認。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，泰諾公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知。
